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  • Veeco的3D共聚焦顯微鏡VCM

    2016-04-29新聞資訊

    Veeco共聚焦計量顯微鏡(縮寫VCM?),將最新的共聚焦技術、納米水平測量技術結合于普通的顯微鏡上,方便實用。具有快速、非接觸式的樣品三維檢測特征,亞微米級的橫向分辨率、納米級的縱向分辨率。VCM共聚焦顯微鏡為高曲率、陡峭斜率樣品的分析,及透明介質或半透明膜的測量提供了理想的解決方案。

    VCM 3D共聚焦顯微鏡有多種型號,從手動到電動:

    VCM150- 手動型,適合樣品高達150mm(6英寸);

    VCM200– 手動或電動,適合樣品達200mm(8英寸);

    VCM300- 手動或電動,適合樣品達300 mm(12英寸)。

    描述:

    碟片共聚焦技術提供精確的樣品三維測量,獨有的實時觀察中“live view”功能;

    完全特征化的陡峭斜率測量,可檢測高達70°的斜率;

    透明層的非接觸式分析,完全勝任厚基質上的、或環境室內樣品的檢測;

    靈活、方便,Nikon金相顯微鏡為平臺,可做明視場、暗視場、DIC技術。

    參數:

    ?

    ?

    ?

    標準工作距離

    長工作距離

    放大倍數

    5X ???10 X ???20 X ??50 X ??100 X ?????

    20 X ??50 X ???100 X ?

    數值孔徑

    0.15?? 0.25?? 0.25?? 0.80?? 0.90

    0.4???? 0.55??? 0.8

    工作距離(mm)

    18? ???15?? ??4.5?? ???1?? ???1

    13? ????9.8?? ??3.5

    顯微鏡平臺

    Nikon顯微鏡,明場、暗場,選配DIC

    光學系統

    Nipkow碟片

    檢測

    彩色CCD

    光源

    金屬鹵素燈

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    圖例:

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    1. 硅片太陽能電池

    2. 共聚焦切片的高深寬比

    3. 玻璃上的激光蝕刻微通道

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