技術參數

VMS-1215H大行程全自動影像儀技術參數

一、機臺結構:

型號

VMS-0810H

VMS-1012H

VMS-1215H

X/Y軸行程(mm)

800*1000

1000*1200

1200*1500

玻璃臺尺寸(mm)

885*1158

1085*1358

1285*1858

外形尺寸(m)

2.17*2.38*1.56

2.37*2.58*1.56

2.57*2.88*1.56

整臺重量(kg)

3260

3750

4520

Z軸運動行程

200mm

X/Y軸最大速度

300mm/s

二、光學系統:

變倍鏡頭

進口 倍率 0.7X~4.5X

光源

表面光源-LED表面環形光源 底光源-LED新型直線光源

光學尺分辨力

0.5μm

X/Y示值誤差

(4+L/200)μm

攝像機

彩色1/2"CCD攝像機

激光平面度測量

重復性3μm(選配激光位移器時)

物方視場

11.1mm~1.7mm

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