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  • VIEW MicroLine 300自動化影像測量儀
    VIEW MicroLine 300自動化影像測量儀

    VIEW MicroLine 300自動化影像測量儀

    工程師支持
    品牌
    MicroDemo
    產品編號
    1797
    產品型號
    VIEW MicroLine 300自動化影像測量儀
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    技術規格:

    - 測量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

    - 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放

    - 視場內的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)

    - 特征尺寸: 視場內0.5μm - 400μm

    - FOV測量重復性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)

    - 照明: 石英鹵素燈, 反射光自動照明

    - 低噪音CCD VGA格式攝像頭

    - 圖像處理60幀每秒格:

    - 測量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

    - 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放

    - 視場內的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)

    - 特征尺寸: 視場內0.5μm - 400μm

    - FOV測量重復性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡) <0.005μm on photomasks (用100x物鏡

    - 照明: 石英鹵素燈, 反射光 自動照明

    - 低噪音CCD VGA格式攝像頭

    - 圖像處理60幀每秒

    MicroLine 300的典型應用包括:

    l 晶圓

    l 光罩

    l MEMS

    l 微型組件

    測量類型:

    關鍵尺寸:

    線寬 Linewidth

    節距 Pitch

    間隙 Spacing

    Overlay

    Multi-layer registration,Box in box,Circle,Edge roughness,Butting erro

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